QSG3透明石英玻璃坩堝
2007-04-05 11:33
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè)拉制單晶用的高純透明石英玻璃坩堝。本坩堝采用天然石英熔制成坯體，并在其內(nèi)表面涂一層高純?nèi)嗽焓⒉Ａ?。一、技術(shù)要求 1．物理、化學(xué)性能指標(biāo)（1）化學(xué)成分 a．內(nèi)涂層化學(xué)成分鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鉆，鎳、錳、硼、鉀、鈉、理十三個(gè)雜質(zhì)元素的總含量不得大于0．001％。其中：鋁≤5×l0[-4]％；銅≤0．l×l0[-4]％；鐵≤0．5×l0[-4]％；硼≤0．1×l0[-4]％；鉀≤1×l0[-4]％；鈉≤1×10[-4]％。 b．坩堝坯體化學(xué)成分鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鈷、鎳、錳、硼、鉀、鈉、鋰十三個(gè)雜質(zhì)元素的總含量不得大于0．01％。其中：鋁≤60×10[-4]％；銅≤0．1×l0[-4]％；鐵≤5×l0[-4]％；硼≤0．3×l0[-4]％；鉀≤4×l0[-4]％；鈉≤4×l0[-4]％。（2）熱穩(wěn)定性試樣在1100℃至20℃溫度急變下試驗(yàn)三次，不產(chǎn)生裂紋。（3）抗結(jié)晶性試樣在1200℃溫度下恒溫半小時(shí)，不允許出現(xiàn)直徑大于3毫米的析晶白點(diǎn)，0．5～ 3毫米的析晶白點(diǎn)，每100平方厘米不得超過(guò)10個(gè)。（4）涂層厚度應(yīng)均勻，折合重量應(yīng)符合表1規(guī)定。表1外徑D涂層重量外徑 D涂層重量毫米克毫米克 80 3.0 106 4.5 90 3.5 114 5.5 100 4.0 130 7.0 2．外觀指標(biāo) (1)坩堝坯體部分（見(jiàn)表２）。項(xiàng)目氣直徑弧度部分 0.3￣0.4毫米直線部分 0.3￣0.7泡允許數(shù)量（個(gè)/厘米[2]）≤6暗長(zhǎng)徑弧度部分 1￣4毫米直線部分 2￣4疤允許數(shù)量（條/100厘米[2]）≤4色絲狀長(zhǎng)徑（毫米） 0.2￣1.5點(diǎn)狀直徑（毫米） 0.2￣0.8斑允許總數(shù)（個(gè)/100厘米[2]）≤4透明顆粒允許數(shù)量（個(gè)/100厘米2）≤30波紋（毫米）≤0.3注：①缺陷寬度小于點(diǎn)狀下限的按絲狀計(jì)。②非圓形缺陷的直徑均按算術(shù)平均值計(jì)。 (2)坩堝口部不得有缺口，不得有深、寬大于4毫米的表皮崩落。 (3)坩堝內(nèi)表面不允許有色斑沾污和析晶。 (4)坩堝內(nèi)表面涂層上每100平方厘米中允許透明顆粒（直徑在0.5￣0.7毫米）為10個(gè)。二、形狀與規(guī)格尺寸 3．半導(dǎo)體用透明石英玻璃坩堝的形狀與規(guī)格尺寸應(yīng)符合下圖及表３規(guī)定。表３外徑高度底半徑厚度范圍同一橫截面的厚度公差 D H R 80+0.6 60±2 D-1 2.0±0.5 0.3 -0.9─── 2 90+0.6 70±2 D-2 2.0±0.5 0.3 -0.9─── 2 100+0.6 80±3 D-2 2.3±0.5 0.3 -1.1─── 2 106+0.6 90±3 D-2 2.3±0.5 0.3 -1.1─── 2 114+0.6 75±3 D-2 2.3±0.5 0.3 -1.1─── 2 130+0.6 110±3 D-2 2.5±0.5 0.4 -1.6─── 2三、試驗(yàn)方法 4．化學(xué)成分按JC 1866－81《石英玻璃原料及制品中微量雜質(zhì)元素的分析方法》中的規(guī)定進(jìn)行。 5．熱穩(wěn)定性按JC187－73《石英玻璃熱穩(wěn)定性檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。 6．抗結(jié)晶性按JC 188－73《石英玻璃抗結(jié)晶性檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。 7．氣泡按JC190－81《透明石英玻璃氣泡、氣線檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。
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